中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司創(chuàng)立于1958年。公司以創(chuàng)新為理念，經(jīng)過半個世紀的發(fā)展，以真空技術為基礎，面向高端科研儀器、半導體、太陽能、LED等高科技、新材料、新能源領域，以裝備制造為主業(yè)，成為集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務為一體的現(xiàn)代企業(yè)。沈陽科儀具備先進的加工設備和檢測手段。擁有7000平方米的潔凈裝調間和特種工藝清洗線;擁有數(shù)控加工中心、數(shù)控銑床、立式加工中心等先進的各類加工制造設備100余臺;擁有三坐標測量儀、臥式平衡儀、振動/噪聲測試實驗臺、氦質譜檢漏儀等國際先進水平的大型檢測試驗儀器設備50余臺。主要產(chǎn)品:一、高端產(chǎn)業(yè)真空應用設備。晶體制備設備:藍寶石晶體爐、碳化硅晶體爐、硅/鍺單晶爐設備等;薄膜制備設備:電子束蒸發(fā)、磁控濺射、硬碳膜設備等;二、科研類真空應用設備:各種PVD、CVD薄膜制備設備，真空冶金設備等;三、干式真空獲得設備:系列干式真空泵機組、渦旋干泵、螺桿泵、離子泵、超高真空插板閥，及真空部件等。