北京半導體專用設備研究所（）創立于1958年，是國內專門從事電子元器件關鍵工藝設備技術、設備整機系統以及設備應用工藝研究開發和生產制造的國家重點科研生產單位。45所以光學細微加工和精密機械與系統自動化為專業方向，以機器視覺技術、運動控制技術、精密運動工作臺與物料傳輸系統技術、精密零部件設計優化與高效制造技術、設備應用工藝研究與物化技術、整機系統集成技術等六大共性關鍵技術為支撐，圍繞集成電路制造設備、半導體照明器件制造設備、光伏電池制造設備、光電組件制造和系統集成與服務等五個重點技術領域，開發出了電子材料加工設備、芯片制造設備、光/聲/電檢測設備、化學處理設備、先進封裝設備、電子圖形印刷設備、晶體元器件和光伏電池等八大類工藝設備和產品，服務于集成電路、光電元器件與組件、半導體照明和太陽能光伏電池四大行業。經過多年的技術積累，特別是“十一五”以來的技術進步與創新，45所已經掌握了專用設備的自身規律和特點、專用設備開發與制造的基本思想和路徑，攻克了六大共性關鍵技術，形成了十多種市場前景良好且擁有自主知識產權的產品，培養出了一支掌握正向系統設計思想與方法、理論水平高實際經驗豐富、團隊精神好、特別能戰斗的科研、生產、市場開發和經營管理隊伍，建成了較為完善的科研開發、工藝試驗和生產制造平臺。“十二五”期間，45所將在國家有關部委、北京市和亦莊開發區的支持幫助下，在集團公司的直接領導下，繼續堅持推進人才興所、核心技術擁有、做實做精做強做大、系統服務和軍民互動六大戰略，不斷提升特殊定制與快速保障、自主創新、系統集成與服務三種能力，實現材料加工設備、化學處理設備、光刻設備、平坦化設備、先進封裝設備和電子圖形印刷設備產業化生產制造，替代進口，批量化走向世界。